紫外光分解和等離子體技術是有機廢氣降解中***常用的兩種方法。兩種方法都可以將廢氣中的有機成分分解成無害的水和二氧化碳，防止二次污染。但這兩種方法仍然有其***點和缺點。[工業廢氣處理方法說明]

　　紫外光解是一種***殊的低壓紫外燈的雙光譜***性，可同時發射185nm紫外和254nm紫外。電子管發出的185nm紫外光觸發了空氣中O2(氧)為O3(臭氧)的過程。臭氧具有很強的氧化能力。與廢氣中的碳氫化合物(如苯、碳氫化合物、醇類、脂類等)充分混合后，在燈發出254nm紫外輻射的輻照催化條件下，可將這些有害污染物直接氧化分解為水和二氧化碳。因此，紫外燈發出的185nm紫外光起著提供氧化反應物的作用。該燈發出的254nm紫外光為光解反應的順利進行提供了必要的反應條件。但紫外線燈的臭氧生成能力較低，如果現在***常用的是150W U的臭氧紫外線燈，在氧氣充足的情況下，每小時的臭氧生成控制在900mg左右，即其單位功率每小時的臭氧生成僅為6mg/w。臭氧作為光解反應中的主要反應物質之一，其含量直接影響處理效果。

　　等離子體技術利用高壓電場電離空氣中的O2產生O3。其臭氧生成效率遠高于紫外線燈。例如，佛山市俊瑞光電有限公司生產的60W石英真空等離子管每小時產生臭氧約6000mg，即每小時產生臭氧的單位功率為100mg/w，是紫外線倍。但是等離子體幾乎不發出紫外線。由于沒有紫外線的催化作用，臭氧與有機廢氣的反應在僅使用等離子體工藝的廢氣處理設備中變得緩慢和困難，這也制約了設備的處理效率。

　　因此，我們嘗試將這兩種方法結合起來。等離子體裝置設置在光解設備的前部。離子裝置產生的O3與有機廢氣混合后通過紫外燈。紫外線nm紫外燈的催化作用下，O3與有機物的反應效率******提高，達到了理想的處理效果。由于等離子體裝置比紫外線燈臭氧生產效率高得多，使設備的功耗降低，節能效果顯著。常見的等離子體技術有兩種:非真空技術和真空技術。

　　非真空等離子體發生器主要為板式和蜂窩式，工作電壓要求在15000 ~ 18000伏左右，因此對系統的***緣要求很高。而工作過程中產生的電弧較***，且直接在空氣中，應用于含可燃氣體的廢氣處理過程中，存在較***的火災隱患。

　　現有的真空等離子體管采用軟玻璃制成，其***點如下:所需工作電壓******降低，約為2-3 kv，******降低了系統的***緣要求，降低了高壓電火花點燃可燃氣體的可能性;2. 2. 產生的電弧***多被封閉在真空管中，******降低了發生火災的可能性。但是它的缺點是在工作溫度變化較***的情況下，軟玻璃容易開裂，并且管子內部的真空狀態被損壞，無法繼續工作。穩定性差，壽命短，了其在生產中的實際應用。

　　現在一些公司新開發的石英真空等離子體管、石英作為墻材料,除了擁有普通玻璃類型真空等離子體管的***點,因為石英管壁有很強的抵抗溫度變化而不是破碎性能,并使用不銹鋼金屬網,而不是原來的鋁網,使這種新型的等離子體管更能惡劣的工作,延長其使用壽命,確保